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Atlant 3D: Patent für einen Multifluid-Druckkopf zur Atomlagenabscheidung

Innovationen

Atlant 3D: Patent für einen Multifluid-Druckkopf zur Atomlagenabscheidung

ATLANT 3D hat einen Multifluid-Druckkopf für die atomare Schichtabscheidung patentiert, der auf oberflächenchemischen Reaktionen wie ALD basiert. Er bietet atomare Kontrolle der Schichtdicke, während die laterale Auflösung von anderen Faktoren abhängt.

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